1. Definiția sistemului de gaze în vrac:
Depozitarea și controlul presiunii gazelor inerte Tipuri de gaze: Gaze inerte tipice (azot, argon, aer comprimat etc.)
Dimensiunea conductei: de la 1/4 (conducta de monitorizare) la conducta principală de 12 inchi
Produsele principale ale sistemului sunt: supapă cu diafragmă/ supapă cu burduf/ supapă cu bilă, conector de înaltă puritate (VCR, formă de sudură), conector cu virolă, supapă de reglare a presiunii, manometru etc.
În prezent, noul sistem include și un sistem de gaz special în vrac, care utilizează butelii fixe de gaz sau autocisterne pentru depozitare și transport.
2. Definiția sistemului de purificare:
Îndepărtarea impurităților din gazele în vrac pentru conductele de gaz de înaltă puritate
3. Dulapuri cu gaz Definiție:
Asigurați controlul presiunii și monitorizarea debitului pentru surse speciale de gaz (gaze toxice, inflamabile, reactive, corozive) și au capacitatea de a înlocui buteliile de gaz.
Locație: Amplasat la etajul subfabricat sau la etajul inferior pentru depozitarea gazelor speciale Sursa: NF3, SF6, WF6 etc.
Dimensiunea conductei: conductă internă de gaz, în general 1/4 inch pentru conducta de proces, 1/4-3/8 inch în principal pentru conducta de purjare cu azot de înaltă puritate.
Produse principale: supape cu diafragmă de înaltă puritate, supape de reținere, manometre, manometre, conectori de înaltă puritate (VCR, formă de sudură) Aceste dulapuri de gaz conțin practic capacități de comutare automată pentru butelii pentru a asigura alimentarea continuă cu gaz și înlocuirea în siguranță a buteliilor.
4. Definiția distribuției:
Conectarea sursei de gaz la serpentina de colectare a gazului
Dimensiunea liniei: În fabrica de cipuri, dimensiunea conductei de distribuție a gazului în vrac variază, în general, de la 1/2 inch la 2 inci.
Forma de conectare: Conductele speciale de gaz sunt în general conectate prin sudare, fără nicio conexiune mecanică sau alte părți mobile, în principal pentru că conexiunea de sudare are o fiabilitate puternică de etanșare.
Într-o fabrică de cipuri, există sute de kilometri de țevi conectate pentru a transmite gaz, care sunt practic lungi de aproximativ 20 de picioare și sunt sudate împreună. Unele coturi de țevi și conexiuni de sudură tubulară sunt, de asemenea, foarte frecvente.
5. Cutie de supape multifuncțională (Cutie de distribuție cu supape, VMB) Definiție:
Este de a distribui gaze speciale de la sursa de gaz la diferite capete ale echipamentelor.
Dimensiunea internă a conductei: conductă de proces de 1/4 inch și conductă de purjare de 1/4 - 3/8 inch. Sistemul poate utiliza controlul computerizat pentru a solicita supape acţionate sau situaţii cu costuri mai mici cu supape manuale.
Produse de sistem: supape cu diafragmă de înaltă puritate/ supape cu burduf, supape de reținere, îmbinări de înaltă puritate (VCR, formă de micro-sudare), supape de reglare a presiunii, manometre și manometre etc. Pentru distribuția unor gaze inerte, Panoul Distribuitor de Supape - Se utilizează în principal VMP (disc cu supapă multifuncțională), care are o suprafață deschisă a discului de gaz și nu necesită un design cu spațiu închis și purjare suplimentară cu azot.
6. Placă/cutie de supapă secundară (panou de conectare a sculei) Definiție:
Conectați gazul necesar echipamentului semiconductor de la sursa de gaz la capătul echipamentului și asigurați reglarea presiunii corespunzătoare. Acest panou este un sistem de control al gazului care este mai aproape de capătul echipamentului decât VMB (cutie cu supape multifuncționale).
Dimensiunea conductei de gaz: 1/4 - 3/8 inch
Dimensiunea conductei de lichid: 1/2 - 1 inch
Dimensiunea conductei de refulare: 1/2 - 1 inch
Produse principale: supapă cu diafragmă/ supapă cu burduf, supapă unidirecțională, supapă de reglare a presiunii, manometru, manometru, îmbinare de înaltă puritate (VCR, micro-sudare), îmbinare cu virolă, supapă cu bilă, furtun etc.
Ora postării: 22-11-2024