1. Definiția sistemului de gaze vrac:
Depozitarea și controlul presiunii gazelor inerte Tipuri de gaze: Gaze inerte tipice (azot, argon, aer comprimat etc.)
Dimensiunea conductei: De la 1/4 (conducta de monitorizare) până la conducta principală de 12 inch
Principalele produse ale sistemului sunt: supapă cu diafragmă/supapă cu burduf/supapă cu bilă, conector de înaltă puritate (VCR, formă sudabilă), conector ferulă, supapă de reglare a presiunii, manometru etc.
În prezent, noul sistem include și un sistem de gaze speciale în vrac, care utilizează butelii fixe de gaz sau cisterne pentru depozitare și transport.
2. Definiția sistemului de purificare:
Îndepărtarea impurităților din gazele vrac pentru conductele de gaze de înaltă puritate
3. Definiția dulapurilor de gaz:
Oferă controlul presiunii și monitorizarea debitului pentru surse speciale de gaz (gaze toxice, inflamabile, reactive, corozive) și au capacitatea de a înlocui buteliile de gaz.
Locație: Situat la etajul subfabricii sau la parter pentru depozitarea gazelor speciale. Sursa: NF3, SF6, WF6 etc.
Dimensiunea conductei: Conductă internă de gaze, în general 1/4 inch pentru conducta de proces, 1/4-3/8 inch în principal pentru conducta de purjare cu azot de înaltă puritate.
Produse principale: Valve cu diafragmă de înaltă puritate, valve de sens unic, manometre, conectori de înaltă puritate (VCR, forme de sudură). Aceste dulapuri de gaz conțin practic capacități de comutare automată pentru butelii pentru a asigura alimentarea continuă cu gaz și înlocuirea în siguranță a buteliilor.
4. Definiția distribuției:
Conectarea sursei de gaz la serpentina de colectare a gazului
Dimensiunea conductei: În fabrica de așchii, dimensiunea conductei de distribuție a gazelor în vrac variază în general de la 1/2 inch la 2 inch.
Formă de conectare: Conductele speciale de gaze sunt în general conectate prin sudură, fără nicio conexiune mecanică sau alte piese mobile, în principal deoarece conexiunea sudată are o fiabilitate ridicată a etanșării.
Într-o fabrică de așchii, există sute de kilometri de conducte conectate pentru a transmite gazul, care au practic aproximativ 6 metri lungime și sunt sudate între ele. Unele coturi de conducte și conexiuni tubulare prin sudură sunt, de asemenea, foarte frecvente.
5. Cutie de supape multifuncțională (cutie de distribuție a supapelor, VMB) Definiție:
Este de a distribui gaze speciale de la sursa de gaz către diferite capete ale echipamentelor.
Dimensiunea internă a conductei: conductă de proces de 1/4 inch și conductă de purjare de 1/4 - 3/8 inch. Sistemul poate utiliza control computerizat pentru a solicita valve acționate sau situații cu costuri mai mici cu valve manuale.
Produse de sistem: valve cu diafragmă/valve cu burduf de înaltă puritate, valve de sens invers, îmbinări de înaltă puritate (VCR, formă de micro-sudură), valve de reglare a presiunii, manometre și manometre etc. Pentru distribuția unor gaze inerte se utilizează în principal Panoul Manifoldului de Valve - VMP (disc de valvă multifuncțional), care are o suprafață deschisă a discului de gaz și nu necesită un design cu spațiu închis și purjare suplimentară cu azot.
6. Placă/cutie supapă secundară (panou de conectare scule) Definiție:
Conectați gazul necesar echipamentului semiconductor de la sursa de gaz la capătul echipamentului și asigurați reglarea corespunzătoare a presiunii. Acest panou este un sistem de control al gazului care este mai aproape de capătul echipamentului decât VMB (cutia de valve multifuncțională).
Dimensiunea conductei de gaz: 1/4 - 3/8 inch
Dimensiunea conductei de lichid: 1/2 - 1 inch
Dimensiunea conductei de refulare: 1/2 - 1 inch
Produse principale: supapă cu diafragmă/supapă cu burduf, supapă unidirecțională, supapă de reglare a presiunii, manometru, manometru, îmbinare de înaltă puritate (VCR, micro-sudură), îmbinare cu ferulă, supapă cu bilă, furtun etc.
Data publicării: 22 noiembrie 2024