As semiconductoriar tehnologiile microelectronice se dezvoltă către performanțe mai mari și o integrare mai mare, se impun cerințe mai mari privind puritatea gazelor speciale electronice. Tehnologia conductelor de gaz de înaltă puritate este o parte importantă a sistemului de alimentare cu gaz de înaltă puritate. Este tehnologia cheie pentru furnizarea de gaze de înaltă puritate care îndeplinesc cerințele la punctele de utilizare a gazului, păstrând totuși calitatea calificată.
Tehnologia de conducte de înaltă puritate include proiectarea corectă a sistemului, selecția fitingurilor și materialelor auxiliare, construcția și instalarea și testarea.
01Concept general de conducte de transport de gaze
Toate gazele de înaltă puritate și de înaltă curățenie trebuie să fie transportate la punctul terminal de gaz prin conducte. Pentru a îndeplini cerințele de calitate a procesului pentru gaz, atunci când indicele de export de gaze este sigur, este mai necesar să se acorde atenție selecției materialelor și calității construcției sistemului de conducte. Pe lângă acuratețea echipamentelor de producție sau purificare a gazelor, aceasta este în mare măsură afectată de mulți factori ai sistemului de conducte. Prin urmare, selecția țevilor trebuie să respecte principiile relevante ale industriei de purificare și să marcheze materialul țevilor în desene.
02Importanța conductelor de înaltă puritate în transportul gazelor
Semnificația conductelor de înaltă puritate în transportul de gaz de înaltă puritate În timpul procesului de topire a oțelului inoxidabil, fiecare tonă poate absorbi aproximativ 200 g de gaz. După ce oțelul inoxidabil este prelucrat, nu numai că diverși poluanți sunt blocați pe suprafața acestuia, dar și o anumită cantitate de gaz este absorbită în rețeaua sa metalică. Când fluxul de aer trece prin conductă, partea de gaz absorbită de metal va reintra în fluxul de aer și va polua gazul pur.
Când fluxul de aer din conductă este discontinuu, conducta formează o adsorbție de presiune asupra gazului care trece prin ele. Când fluxul de aer încetează să mai treacă, gazul adsorbit de țeavă formează o analiză de reducere a presiunii, iar gazul analizat intră, de asemenea, în gazul pur în țeavă ca impuritate.
În același timp, ciclul de adsorbție și analiză va face ca metalul de pe suprafața interioară a țevii să producă o anumită cantitate de pulbere. Această particule de praf metalic poluează și gazul pur din țeavă. Această caracteristică a țevii este foarte importantă. Pentru a asigura puritatea gazului transportat, nu numai că este necesar ca suprafața interioară a țevii să aibă o netezime extrem de ridicată, dar și să aibă rezistență mare la uzură.
Când gazul are proprietăți corozive puternice, pentru conducte trebuie utilizate țevi din oțel inoxidabil rezistente la coroziune. În caz contrar, pe suprafața interioară a țevii vor apărea pete de coroziune din cauza coroziunii. În cazuri severe, bucăți mari de metal se vor desprinde sau chiar se vor perfora, contaminând astfel gazul pur transportat.
03 Material pentru conducte
Selecția materialului țevii trebuie selectată în funcție de nevoile de utilizare. Calitatea țevii se măsoară în general în funcție de rugozitatea suprafeței interioare a țevii. Cu cât rugozitatea este mai mică, cu atât este mai puțin probabil să transporte particule. În general, împărțit în trei tipuri:
Unul esteConducta EP 316L, care a fost lustruit electrolitic (Electro-Polish). Este rezistent la coroziune și are o rugozitate scăzută a suprafeței. Rmax (înălțimea maximă de vârf la vale) este de aproximativ 0,3μm sau mai puțin. Are cea mai mare planeitate și nu este ușor să formeze micro-curenți turbionari. Îndepărtați particulele contaminate. Gazul de reacție utilizat în proces ar trebui să fie canalizat la acest nivel.
Unul este unBA grad 316Lconductă, care a fost tratată de Bright Anneal și este adesea folosită pentru gazele care sunt în contact cu cip, dar nu participă la reacția procesului, cum ar fi GN2 și CDA. Una este conducta AP (Annealing & Picking), care nu este tratată special și este în general folosită pentru seturi duble de țevi exterioare care nu sunt folosite ca linii de alimentare cu gaz.
04 Construcția conductelor
Prelucrarea gurii țevii este unul dintre punctele cheie ale acestei tehnologii de construcție. Tăierea și prefabricarea conductei sunt efectuate într-un mediu curat și, în același timp, se asigură că nu există urme dăunătoare sau deteriorare pe suprafața conductei înainte de tăiere. Pregătirile pentru spălarea cu azot în conductă trebuie făcute înainte de deschiderea conductei. În principiu, sudarea este utilizată pentru a conecta conductele de transport și distribuție a gazului de înaltă puritate și curățenie ridicată, cu debit mare, dar sudarea directă nu este permisă. Ar trebui utilizate îmbinări ale carcasei, iar materialul țevii utilizat trebuie să nu aibă nicio modificare a structurii în timpul sudării. Dacă materialul cu conținut prea mare de carbon este sudat, permeabilitatea la aer a părții de sudură va face ca gazul din interiorul și din exteriorul țevii să pătrundă unul în celălalt, distrugând puritatea, uscăciunea și curățenia gazului de transport, ceea ce va duce la consecințe grave. și afectează calitatea producției.
Pe scurt, pentru conductele de transport de gaz de înaltă puritate și gaze speciale, trebuie utilizată o țeavă din oțel inoxidabil de înaltă puritate tratată special, ceea ce face ca sistemul de conducte de înaltă puritate (inclusiv conducte, fitinguri de țevi, supape, VMB, VMP) să ocupe o misiune vitală în distribuția de gaze de înaltă puritate.
Ora postării: 26-nov-2024