As semiconductorȘi pe măsură ce tehnologiile microelectronice se dezvoltă către performanțe superioare și o integrare mai mare, se impun cerințe mai mari privind puritatea gazelor speciale electronice. Tehnologia conductelor de gaz de înaltă puritate este o parte importantă a sistemului de alimentare cu gaz de înaltă puritate. Este tehnologia cheie pentru furnizarea de gaze de înaltă puritate care îndeplinesc cerințele către punctele de utilizare a gazului, menținând în același timp o calitate calificată.
Tehnologia conductelor de înaltă puritate include proiectarea corectă a sistemului, selectarea fitingurilor și a materialelor auxiliare, construcția, instalarea și testarea.
01 Concept general al conductelor de transport al gazelor
Toate gazele de înaltă puritate și curățenie trebuie transportate către punctul terminal de gaz prin conducte. Pentru a îndeplini cerințele de calitate a procesului pentru gaze, atunci când indicele de export al gazelor este cert, este mai necesar să se acorde atenție selecției materialelor și calității construcției sistemului de conducte. Pe lângă precizia echipamentului de producție sau purificare a gazelor, aceasta este influențată în mare măsură de mulți factori ai sistemului de conducte. Prin urmare, selecția țevilor trebuie să respecte principiile relevante din industria de purificare și să se marcheze materialul țevilor în desene.
02Importanța conductelor de înaltă puritate în transportul gazelor
Importanța conductelor de înaltă puritate în transportul gazelor de înaltă puritate În timpul procesului de topire a oțelului inoxidabil, fiecare tonă poate absorbi aproximativ 200 g de gaz. După prelucrarea oțelului inoxidabil, nu numai că diverși poluanți rămân blocați pe suprafața sa, dar și o anumită cantitate de gaz este absorbită în rețeaua sa metalică. Atunci când există un flux de aer care trece prin conductă, partea de gaz absorbită de metal va reintra în fluxul de aer și va polua gazul pur.
Când fluxul de aer în conductă este discontinuu, conducta formează o adsorbție de presiune pe gazul care trece prin ea. Când fluxul de aer se oprește, gazul adsorbit de conductă formează o analiză de reducere a presiunii, iar gazul analizat intră și el în gazul pur din conductă ca impuritate.
În același timp, ciclul de adsorbție și analiză va face ca metalul de pe suprafața interioară a țevii să producă o anumită cantitate de pulbere. Aceste particule de praf metalic poluează, de asemenea, gazul pur din țeavă. Această caracteristică a țevii este foarte importantă. Pentru a asigura puritatea gazului transportat, nu este necesar doar ca suprafața interioară a țevii să aibă o netezime extrem de mare, ci și ca aceasta să aibă o rezistență ridicată la uzură.
Când gazul are proprietăți corozive puternice, trebuie utilizate țevi din oțel inoxidabil rezistente la coroziune. În caz contrar, pe suprafața interioară a țevii vor apărea pete de coroziune din cauza coroziunii. În cazuri grave, bucăți mari de metal se vor desprinde sau chiar perfora, contaminând astfel gazul pur transportat.
03 Materialul țevilor
Selecția materialului pentru țeavă trebuie făcută în funcție de nevoile de utilizare. Calitatea țevii este, în general, măsurată în funcție de rugozitatea suprafeței interioare a acesteia. Cu cât rugozitatea este mai mică, cu atât este mai puțin probabil ca aceasta să transporte particule. În general, acestea sunt împărțite în trei tipuri:
Unul esteȚeavă 316L de calitate EP, care a fost lustruit electrolitic (electro-polișare). Este rezistent la coroziune și are o rugozitate superficială redusă. Rmax (înălțimea maximă de la vârf la vale) este de aproximativ 0,3 μm sau mai puțin. Are cea mai mare planeitate și nu este ușor de format micro-curenți turbionari. Îndepărtați particulele contaminate. Gazul de reacție utilizat în proces trebuie condus la acest nivel.
Unul este unGrad BA 316Lțeavă, care a fost tratată prin metoda Bright Anneal și este adesea utilizată pentru gaze care intră în contact cu așchiile, dar nu participă la reacția de proces, cum ar fi GN2 și CDA. Una este țeava AP (Annealing & Picking), care nu este tratată special și este utilizată în general pentru seturi duble de țevi exterioare care nu sunt utilizate ca linii de alimentare cu gaz.
04 Construcția conductei
Prelucrarea gurii de intrare a țevii este unul dintre punctele cheie ale acestei tehnologii de construcție. Tăierea și prefabricarea conductei se efectuează într-un mediu curat și, în același timp, se asigură că nu există urme dăunătoare sau deteriorări pe suprafața conductei înainte de tăiere. Pregătirile pentru spălarea cu azot a conductei trebuie făcute înainte de deschiderea acesteia. În principiu, sudarea se utilizează pentru conectarea conductelor de transport și distribuție a gazelor de înaltă puritate și curățenie cu debit mare, dar sudarea directă nu este permisă. Trebuie utilizate îmbinări de tip carcasă, iar materialul țevii utilizat trebuie să nu prezinte modificări structurale în timpul sudării. Dacă se sudează material cu un conținut prea ridicat de carbon, permeabilitatea la aer a piesei sudate va face ca gazul din interiorul și exteriorul țevii să se penetreze reciproc, distrugând puritatea, uscăciunea și curățenia gazului transportat, ceea ce va duce la consecințe grave și va afecta calitatea producției.
În concluzie, pentru conductele de transport al gazelor de înaltă puritate și al gazelor speciale, trebuie utilizată o țeavă din oțel inoxidabil de înaltă puritate tratată special, ceea ce face ca sistemul de conducte de înaltă puritate (inclusiv conducte, fitinguri, valve, VMB, VMP) să ocupe o misiune vitală în distribuția gazelor de înaltă puritate.
Data publicării: 26 noiembrie 2024